レーザースキャン用ガルバノミラー ひずみが少なく高い剛性を有するレーザースキャン用ミラーです。ミラーの基板に焼結炭化珪素を使用しており、ストレスに強く従来多く採用されていたベリリウムよりも同等以上の性能でコスト面においても優れている。 カタログPDF 戻る
